昌錫江教授

博士生導(dǎo)師，民盟盟員，1984年出生于寧夏銀川。本科就讀于清華大學(xué)工程物理系，后保研復(fù)旦大學(xué)，2013年在電光源系獲得物理電子學(xué)博士(理學(xué))學(xué)位，同年獲得日本靜岡大學(xué)納米顯示工程博士(工學(xué))學(xué)位。后相繼在日本東北大學(xué)，北京北方微電子，上海工程技術(shù)大學(xué)工作，2019年加入東華大學(xué)，2023年獲聘教授、博導(dǎo)。研究方向涉及低溫等離子體物理，等離子體源及診斷，在專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域知名期刊發(fā)表學(xué)術(shù)論文40多篇，授權(quán)專(zhuān)利10余項(xiàng)。在半導(dǎo)體高端設(shè)備領(lǐng)域有多年從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，2021年以顧問(wèn)身份參與華為戰(zhàn)略性項(xiàng)目，任等離子體領(lǐng)域首席專(zhuān)家。

研究方向：

1、  低溫等離子體源設(shè)計(jì)及應(yīng)用

2、  微波等離子體

3、  集成電路加工裝備

榮譽(yù)及獲獎(jiǎng)情況：

1、  2015，省部級(jí)人才，北京市“海聚工程”特聘專(zhuān)家，

2、  2016，省部級(jí)人才，上海市青年?yáng)|方學(xué)者

近年來(lái)承擔(dān)的主要科研項(xiàng)目：

1、  國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目：表面波等離子體原位氮摻雜制備金剛石NV發(fā)光中心的研究，2022-2025；

2、  國(guó)家自然科學(xué)基金青年項(xiàng)目：有機(jī)電致發(fā)光器件材料的等離子體中性束修飾機(jī)理研究，2017-2019；

3、  上海高校選拔培養(yǎng)優(yōu)秀青年教師科研專(zhuān)項(xiàng)基金資助項(xiàng)目，2016-2017

4、  與多家企業(yè)以技術(shù)服務(wù)形式簽署橫向項(xiàng)目

近年來(lái)發(fā)表的代表性論著、專(zhuān)利：

論文

1、    Xijiang Chang*, Shuchang Xu, Daqian Wang, Zhihao Zhang, Ying Guo and Shifei Kang*, Flash Dual-Engineering of Surface Carboxyl Defects and Single Cu Atoms of g-C3N4 Via Unique CO2 Plasma Immersion Approach for Boosted Photocatalytic Activity. Matetials Today Advances. 15, 100274, 2022

2、    Xijiang Chang* Daqian Wang, Shuchang Xu, Zhihao Zhang, Ziying Xiong, Ying Guo and Shifei Kang*, Unraveling Structural Carboxyl Defects in g-C3N4 for Improved Photocatalytic H2 Evolution Via Alternating Hydrogen-Oxygen-Plasma Treatment. Advanced Sustainable Systems, 2200207, 2022

3、    Shifei Kang, Zhihao Zhang, Maofen He, Zirou Fang, Di Sun, Lulu Zheng, Xijiang Chang*, Lifeng Cui*, Harmonious K-I-O co-modification of g-C3N4 for improved charge separation and photocatalysis. Inorganic Chemistry Frontiers, 9, 5, 950-958. 2022

4、    Shifei Kang, Maofen He, Mengya Chen, Yanfei Liu, Yuting Wang, Yangang Wang, Mingdong Dong, Xijiang Chang*, Lifeng Cui*. Surface amino group regulation and structural engineering of graphitic carbon nitride with enhanced photocatalytic activity by ultrafast ammonia plasma immersion modification. ACS Appl. Mater. Interfaces, 11, 14952-14959, 2019

5、    Jingxia Yang*, Huihui Ding, Zhu Zhu, Qiuhe Wang, Jinjie Wang, Jingli Xu, Xijiang Chang*. Surface modification of CeO2 nanoflakes by low temperature plasma treatment to enhance imine yield: influences of different plasma atmospheres. Applied Surface Science, 454, 173-180, 2018

專(zhuān)利

1、  一種等離子體射流產(chǎn)生裝置 ，第一發(fā)明人，201810847719.7，已轉(zhuǎn)讓

2、  一種圓柱表面波等離子體產(chǎn)生裝置 ，第一發(fā)明人，201811287082.7，已轉(zhuǎn)讓

3、  一種等離子體射流的發(fā)生裝置，第一發(fā)明人，201810845748.X

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